时间： 2018-05-03 14:14:51 点击：
1、依次接上真空泵的导气管、废液接收罐、废液接收罐上方是排废气的软管。
2、充氮N2/干燥气体CDA的连接，一般这个细管（如上图4所示，口径为6mm）需要接到氮气瓶或者实
验室已有的氮气接口。
3、氮气瓶的接口，这种接口是箍橡皮管，需要换成找转接头接上
旋涂仪的6mm的白色塑料管。
4、充氮气或者干燥空气的压力需要60~70 PSI
5、按“START”键启动程序，直到完成；
二、注意事项
注意事项，防止胶水进入Chuck的孔中、氮气压不可过大（细调到NEED CDA消失即可）、片子尺寸较大时旋转速度不能太快（以防飞片）等注意事项：在操作该设备时，请根据指示，勿将试剂、溶液、粉状物等异物吸入承载基片下的真空通道，保持基片底座和真空通道周边部位清洁、干燥。
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