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国外匀胶机旋涂仪可选配件

时间： 2018-03-20 14:38:16 点击：

　　匀胶机旋涂仪可加装背后清洗(BSR)、去边装置(EBR),用于多功能显影。

　　匀胶机旋涂仪程控自动点胶装置(Auto Dispense 30-50ml，360ml，压力罐点胶1GL可选），产

　　品可加装喷嘴（5个），用于多功能匀胶。可编程的回吸系统(Programmable

　　Suckback System)可以防止多余的胶从管嘴溢出。

　　匀胶机旋涂仪程控自动喷涂显影装置（(Spray Develop、吹氮、去离子水）

　　匀胶机旋涂仪精确温度曲线控制

　　匀胶机旋涂仪惰性气体环境加热固化

　　匀胶机旋涂仪热板气动顶针等

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