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章丘市冠牌电子设备厂

匀胶工艺常见问题

时间： 2018-03-20 11:57:33 点击：

　　问题1：表面出现气泡

　　可能原因：滴胶时胶中带有气泡

　　喷嘴尖端切口有问题或带刺

　　问题2：四周呈现放射状条纹

　　可能原因：

　　胶液喷射速度过高

　　设备排气速度过高

　　胶涂覆前静止时间过长

　　匀胶机转速或加速度设置过高

　　片子表片留有小颗粒

　　胶中有颗粒

　　问题3：中心出现漩涡图案

　　可能原因：

　　设备排气速度过高

　　喷胶时胶液偏离衬底中心

　　旋图时间过长

　　加速度过高

　　问题4：中心出现圆晕

　　可能原因：

　　不合适的托盘,

　　喷嘴偏离衬底中心

　　问题5：胶液未涂满衬底

　　可能原因：

　　给胶量不足

　　不合适的匀胶加速度

　　问题6：出现针孔现象

　　可能原因：

　　空气中粉尘

　　光刻胶内存在颗粒或气泡

　　衬底上存在颗粒

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