时间： 2018-04-17 16:45:40 点击：
1.开机前准备
(1)用丙酮与无尘纸清理之前光阻图布的残余物.
(2)a.选择适合尺寸大小的吸盘(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
b.将吸盘装上(将吸盘缺口处对准轴心之插梢位置).
c.将样品放在吸盘上(启动前请确定样品放在吸盘正中央的位置).※不可放入破片只能放4吋晶圆,以防光阻倒流入真空吸槽.
2.开机&设定
(1)a.将"POWER"开关打开.
b.将"CONTROL"按钮压下(若没有压下则机台将无法操作).
(2)设定涂布的时间及转速:Step I Timer I:2~18 Sec Speed I:500~2500R.P.M.Step II Timer II:3~60 Sec Speed II:1000~8000R.P.M.
(3)打开真空帮浦开关,并将"VACUUM"按钮压下此时开始抽真空吸附样品.启动"START"前,请确认涂布的时间及转速是否已设定完成.
(4)将光阻剂滴在样品中心的位置.并将上盖盖上,防止意外发生.
(5)压下"START"按钮,此时机台开始依步骤(4)的设定条件依Step I,Step II的顺序开始涂布样品.
(6)待时间完毕后,机台随即停止运转,完成涂布的动作.
3.关机
(1)将"VACUUM"关闭,并将真空帮浦关闭,取下完成样品.
(2)将"CONTROL"按钮及"POWER"开关关闭.PS.此机台有预留废液回收口,可将多余废液排出.
(3)用丙酮清理图布后的光阻痕迹.
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